深圳奧坤鑫科技專業(yè)等離子設備銷售及生產廠家是采用微波等離子工藝用于芯片制造、MEMS器件、光伏電池、平板顯示器和探測器等領域的市場領導者。在光刻膠灰化、晶圓減薄和應力去除、打線前的bond pad清潔、封膠前的活化等應用中用安全的微波等離子對硅、三五族化合物、鈮酸鋰等半導體材料進行處理。微波等離子體特別適合于處理對靜電敏感的器件。
奧坤鑫等離子設備還提供量測工具用于先進的質量監(jiān)測和生產過程中評估晶圓。SIRD系統是用于機械應力測量，TWIN用于離子注入劑量檢測。我們的量測系統可處理300毫米的晶圓，并滿足1級潔凈室的所有要求。
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