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在線式真空等離子設(shè)備 PR-IL05-D

特點：
1、進(jìn)料流水線運動模組采用伺服電機(jī)+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污；
2、真空腔內(nèi)置2條軌道，可一次處理2片物料， UPH可達(dá)120載板/小時；
3、所有運動機(jī)構(gòu)均采用成熟運動方案，設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。

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技術(shù)參數(shù) 相關(guān)產(chǎn)品

編號	內(nèi)容	規(guī)格參數(shù)
1	整機(jī)規(guī)格	140014002150mm（包含F(xiàn)FU及報警指示燈等）
2	單次處理數(shù)量	2片載板
3	腔體軌道長度	260mm
4	腔體軌道寬度兼容范圍	70-110mm
5	腔體內(nèi)尺寸	39528065mm
6	設(shè)備產(chǎn)能	120載板/小時
7	CT	60秒
8	LOAD&UNLOAD	不具備
9	掃碼	進(jìn)出掃碼載具二維碼
10	凈化防護(hù)	百級FFU凈化過濾系統(tǒng)
特點： 1、進(jìn)料流水線運動模組采用伺服電機(jī)+滾珠絲桿模組運動，有效保證精度，降低塵污； 2、真空腔內(nèi)置2條軌道，可一次處理2片物料， UPH可達(dá)120載板/小時； 3、所有運動機(jī)構(gòu)均采用成熟運動方案，設(shè)備穩(wěn)定性及故障率得以有效控制。用途：IC封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗在線式真空等離子清洗機(jī)自動搬運物料的設(shè)計要求,與常規(guī)等離子清洗系統(tǒng)相比,降低了人工搬運過成,提高了設(shè)備自動化水平。